• Год:2020
    Авторы:Чернов,МЮ; Соловьев,ВА; Комков,ОС; Фирсов,ДД; Побат,ДВ; Андреев,АД; Ситникова,АА; Миньков,ГМ; Шерстобитов,АА; Иванов,СВ
    Подразделения:

    Развит метаморфный подход, позволяющий создавать методом молекулярно-пучковой эпитаксии эффективные источники излучения среднего ИК диапазона (λ = 2.6—4.5 мкм) [1] и гетероструктуры с высокой подвижностью электронов в двумерном канале In0.75Ga0.25As (μ~ 1.7*105 см2/(В∙с) при T = 1.3 K) [2] на подложках GaAs, рассогласованных по параметру решётки с активной областью структур более, чем на 5%. Разработаны эффективные методы снижения плотности протяжённых дефектов в активной области гетероструктур InSb/InAs/In(Ga,Al)As/GaAs до значений ≤ 107 см-2, заключающиеся в использовании оригинального метаморфного буферного слоя (МБС) InxAl1-xAs с корневым профилем изменения состава, а также в обеспечении баланса упругих механических напряжений в волноводных и квантоворазмерных слоях [1]. Методами численного моделирования получены распределения дислокаций несоответствия и упругих напряжений вдоль направления роста МБС InAlAs с различными градиентами состава (ступенчатым, линейным, корневым), наблюдавшиеся ранее экспериментально [3]. На подложках GaAs реализованы первые прототипы метаморфных светодиодных гетероструктур InSb/InAs/In(Ga,Al)As, излучающие в диапазоне 3.1—3.8 мкм со значением внутренней квантовой эффективности 5% при 300К, а также лазерные гетероструктуры, демонстрирующие стимулированное излучение на длине волны 2.86 мкм при 60 К.

    Иллюстрации

    Рис. 1. Спектры ФЛ метаморфных гетероструктур InSb/InAs/In(Ga,Al)As при T= 300 и 12 K

    Рис. 2. ПЭМ изображение метаморфной волноводной гетероструктуры InSb/InAs/In(Ga,Al)As